在当前及未来市场,半导体加工企业设备投资成本日益飙升,晶圆厂75%以上的建厂成本均用于设备采购,因此设备效率最大化是半导体厂降低成本、提高效率的主要方式之一。

上扬软件以故障监测、分类和预测为主要功能的Terra FDC正是提高设备利用率的利器

该系统采用“分层诊断”模式,透过一层层的故障侦测法则,如同天罗地网般侦测机台设备可能发生的故障,并进行诊断与分类。

同时利用算法和经验模型,包括统计学算法、工艺模型的算法和人工智能算法,预配置参数限制值,持续监控设备参数,以对设备健康状态进行主动且快速的反馈,当设备发生故障时,系统会自动采取相关警报和控制措施。

 

其主要功能包括:

– 避免设备故障造成的产品不良,提升产品良率;

– 减少设备意外停机时间,提高产品周转率;

– 减少测试晶片运用从而降低成本;

– 对设备运行实时监控;

– 同时支持整体机和子腔体的实时监控。

 

上扬Terra FDC可以全角度维护系统安全运行,即时发现并上报设备故障,满足半导体企业不断变化的生产需求。